光刻机产业链核心概念股梳理

一、整机与核心平台（核心资产）- 张江高科（600895）：上海微电子（SMEE，国内唯一量产前道光刻机）第一大股东，持股约10.78%，光刻机生态核心平台- 上海电气（601727）：直接持有SMEE 32.08%股权，整机核心资本方- 芯碁微装（688630）：直写光刻设备龙头，聚焦先进封装/面板领域- 芯源微（688037）：涂胶显影设备龙头，光刻核心工序配套二、光学系统（光刻机“眼睛”）- 福晶科技（002222）：全球光学晶体龙头，供货ASML/上海微电子，光源核心材料- 茂莱光学（688502）：超精密光学元件，国产唯一量产物镜镜片组- 腾景科技（688195）：精密光学元件，光刻机光学系统配套- 波长光电（301421）：DUV投影物镜、照明系统，国产光刻机核心光学供应商- 奥普光电（002338）：纳米级工件台、物镜系统核心供应商三、光源与激光系统- 炬光科技（688167）：激光光学、光束匀化，布局EUV相关技术- 凯美特气（002549）：光刻特种气体（氪/氖），EUV光源气体供应商- 华特气体（688268）：国内唯一通过ASML认证电子特气，适配28nm及以下制程四、精密运动/控制/结构件- 华卓精科（688207）：双工件台核心，光刻机运动系统龙头- 富创精密（688409）：通过ASML认证，精密金属结构件供应商- 新莱应材（300260）：高纯真空/气体管路系统核心配套- 同飞股份（300990）：光刻机温控系统核心供应商五、光刻胶与核心材料- 南大光电（300346）：ArF光刻胶国产量产标杆- 彤程新材（603650）：KrF/ArF全品类光刻胶布局- 上海新阳（300236）：覆盖I线至ArF浸没式全系列光刻胶六、辅助设备与服务- 蓝英装备（300293）：晶圆清洗、表面处理，为ASML供应关键部件- 广立微（301095）：光刻工艺EDA，提升光刻机良率- 东方嘉盛（002889）：光刻机寄售维修保税仓库唯一服务商七、其他核心标的- 赛微电子（300456）：MEMS透镜，物镜系统核心部件- 江丰电子（300666）：高纯溅射靶材，半导体制造核心材料- 大族激光（002008）：激光加工设备，泛半导体光刻配套