在搁置溅射镀镍的编制洋,平刻胶与镍交联后变得格外坚硬,极易爆发水纹。
在紫外光照射穿透的地方,光刻胶的化学特性会被削弱,使硅晶片表面留下图案。
这边有几个处置方案:第一,等离子不兴尘法,在一个矮真空境况下,氧离子与平刻胶或化学精神反响。
氧化物、掩模或标线的不透明区域,或光刻层中不需要的小孔。
同现有的牺牲层材料相比,光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些优越性。
本发明的涂料组合物可用作光致抗蚀剂的覆盖涂层,包括可用在浸渍平版印刷工艺中。
此外,用光致抗蚀剂作牺牲材料不影响结构的厚度和材料的选择。
提出了一种用单波长激光制作真彩色彩虹全息图的新方法。
限定光致抗蚀剂层的步骤还包括曝光、显影。并可利用烘烤步骤使各凸块溶融化,以接合各凸块。
本发明提供了能形成具有低LER(线边缘粗糙度)的光刻胶图案的感光化合物。
在微电子技术中,通过曝光并显影光刻胶除去芯片上的物质露出剩馀部分的工艺。
本发明的方法可在保证一定涂覆均匀度的同时,获得较高的光阻使用率。
正胶就是胶皮颗粒向上、高度与直径相等的胶皮。
另外,本文还利用时域有限差分法分析了光刻胶层内部的光场分布。
针对光刻胶有曝光的特性,双光谱法更适合于胶厚检测。
采用AZ4620正型光刻胶甩胶于平面玻璃基片,以椭偏仪测量的结果为基准。
本文介绍了采用302负性光刻胶刻制光学度盘的工艺方法。
主要提出了一种利用SU-8光刻胶形成高深宽比结构的新型压力传感器。
印制线路板显影液用消泡剂的研制
剥离光刻胶后得到图形化了的全有机场效应晶体管器件的电极图;
酸增殖源及其在化学增幅抗蚀剂体系中的应用
用丙酮剥离掉光刻胶对底电极进行图形化;
图案化该光致抗蚀剂层以形成一第一开口;
测定在蚀刻期间光致抗蚀剂同硬表面光掩膜坯及半导体片的有效粘附性