在此,常规的椭圆计补充一个所谓的谐振平台,在这个谐振平台的表面上可激励多种模式。
本发明涉及一种属于椭圆计一类的装置的有利的改进方案。
用光谱式椭偏仪对薄膜的厚度进行了测试。
采用AZ4620正型光刻胶甩胶于平面玻璃基片,以椭偏仪测量的结果为基准。
紫外可见吸收光谱仪与椭偏测厚仪联用测量透明光电子薄膜的厚度
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