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【DUV光刻机也能造3nm芯片！中科院GAA晶体管重大突破：绕开EUV光刻机】9月18日消息，中科院公布新型全环绕栅极GAA晶体管架构，在DUV光刻机上实现超50万倍开关比，理论可解锁3nm等效性能，为缺EUV条件下国产芯片逼近先进制程打开新路径，目前中道、后道布线瓶颈仍待突破。 ​

2026-09-19 02:19:37 暖暖雨热说科技 科技

【DUV光刻机也能造3nm芯片！中科院GAA晶体管重大突破：绕开EUV光刻机】9月18日消息，中科院公布新型全环绕栅极GAA晶体管架构，在DUV光刻机上实现超50万倍开关比，理论可解锁3nm等效性能，为缺EUV条件下国产芯片逼近先进制程打开新路径，目前中道、后道布线瓶颈仍待突破。 ​

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