光刻机10只核心龙头梳理：

按整机、光学、工件台、材料、配套分类，覆盖国产替代核心环节。

1. 张江高科

参股上海微电子（SMEE）10.78%，国产光刻机整机核心受益标的。

2. 芯碁微装

直写光刻设备龙头，覆盖先进封装/面板，国产光刻设备核心标的。

3. 福晶科技

全球LBO/BBO光学晶体龙头，市占超60%，用于光刻机激光光源。

4. 茂莱光学

DUV光学透镜核心供应商，供货上海微电子，单机价值量高。

5. 奥普光电

子公司禹衡光学提供纳米级光栅编码器，用于双工件台，国产替代率超70%。

6. 苏大维格

国内唯一量产光刻机定位光栅，用于28nm双工件台，定位误差≤1.5nm。

7. 南大光电

ArF光刻胶龙头，国内唯一通过中芯国际验证，光刻材料核心。

8. 新莱应材

光刻机真空阀门/系统核心供应商，保障设备洁净与密封。

9. 蓝英装备

全球唯一通过ASML认证的光刻机光学清洗设备商，纳米级清洗。

10. 赛微电子

MEMS微镜间接供应ASML EUV光路，布局光刻机整机业务。风险提示：以上仅为概念梳理，不构成投资建议。