测得的电流通常非常小,因此往往需要使用皮安计或静电计进行测量。
若要测量开关卡的偏移电流,请将卡的输出连接到一台皮安计或静电计。
图2-39所示为静电计和由电压源及电阻器串联组成的电流源相连接。
特定仪器反馈阻抗的数值请参见该静电计的手册或技术指标。
当带电物体放到内电极里面的时候,就有感生电荷流过静电计。
石英具有类似于蓝宝石的性质,但是其压电输出相当高,所以很少用于静电计电路中。
将静电计的HI端连到电阻器的一端,将电压源的HI端连到电阻器的另一端。
这些弱电流测量工作常常使用静电计或源-测量单元来进行。
电阻器(RL)是电流限制电阻器,用来保护开关和静电计不受大电流的损害。
由于静电计、安培计或皮安计的输入端压降小于1mV,这两个二极管不会导通。
外部反馈模式允许使用外部器件来作静电计的反馈元件。
如图2-40所示,这将会引起电流(i)流过静电计(IM)的低端到地的电容。
静电计、皮安计和SMU的测量工作中使用两种通用类型的连接器。
静电计欧姆计依据测量的量程,在规定的电流下,进行两线电阻测量。
一般静电计要考虑的问题:一般性地讨论影响高阻测量的技术和误差来源。
以下各段考察所有类型的静电计和SMU在测量高阻源时要考虑的问题。
可以把物体放在法拉第杯中,用静电计测量其电荷。
衰减电路可以装在静电计的内部,也可以是一个外部电路。
当静电计作为电压表使用时,其电路实际上如图2-6所示。
6517A型静电计与变换极性法已被做成一个现成的测试程序。
为了避免测量误差,关键之点在于将静电计、SMU或皮安计和被测装置进行适当的连接。
关于特定静电计内部衰减电路的性能,请参阅该仪器的操作手册。
使用静电计和皮安计的恒压法的基本电路配置如图2-30a所示。
内电极连到静电计的HI端,外电极连到静电计的LO端。
皮安计和SMU也具有很低的输入偏置电流,但是通常没有静电计低。
与静电计(pA)的HI端子串联的正偏二极管也起到限制交流增益的作用。
这种应用情况使用了一台6517A型静电计,它能够供给测试电压并测量剩余电压。
图2-24示出静电计或皮安计的过载保护电路,其中包括一个电阻器和两个二极管(1N3595)。