【国产中高端光刻机获批量采购订单,南方基金郑晓曦关注半导体装备国产化进程】近日,国内某半导体装备企业自主研发的350nm步进投影光刻机通过国内化合物半导体领域头部客户的全流程工艺验证,并获得批量重复采购订单,从首台设备发运到获得批量订单仅用时9个月。该设备属于化合物半导体专用光刻设备环
【国产中高端光刻机获批量采购订单,南方基金郑晓曦关注半导体装备国产化进程】近日,国内某半导体装备企业自主研发的350nm步进投影光刻机通过国内化合物半导体领域头部客户的全流程工艺验证,并获得批量重复采购订单,从首台设备发运到获得批量订单仅用时9个月。该设备属于化合物半导体专用光刻设备环