【国产中高端光刻机获批量采购订单，南方基金郑晓曦关注半导体装备国产化进程】近日，国内某半导体装备企业自主研发的350nm步进投影光刻机通过国内化合物半导体领域头部客户的全流程工艺验证，并获得批量重复采购订单，从首台设备发运到获得批量订单仅用时9个月。该设备属于化合物半导体专用光刻设备环节，关键零部件与软件控制系统均实现100%自主可控，稳定实现350nm分辨率，兼容碳化硅、氮化镓、砷化镓等多种衬底材料，主要服务于功率器件、射频前端、光电子芯片等产线。该设备的批量交付，填补了第三代半导体量产线对国产中高端光刻设备的供给缺口。网页链接