韩国🇰🇷 : 三星显示器将推出7英寸无FMM技术的OLED原型机

【朝鲜日报】报道 三星显示器公司正在开发一款7英寸级有机发光二极管（OLED）原型，该原型不使用精细金属掩模（FMM）。该公司正利用其专有的“MPO（微图案化OLED）”技术生产工程样品（ES）。

据业内人士19日透露，三星显示器自去年3月起便开始研发一款MPO产品。据悉，该产品并非针对特定客户，而是通过设定假想客户需求，以接近量产的水平进行开发。虽然主要目标是在今年年底前完成，但根据样品制作的完成情况，研发进度可能会延至明年第一季度。

MPO技术的研发实际上一直处于停滞状态，直到今年年初才有所进展。去年9月，三星显示器在其位于忠清南道峨山市的A2生产线上引进了应用材料公司（Applied Materials）旗下AKT公司的一台5.5代四分之一级垂直沉积设备，用于评估非FMM技术。然而，据报道，该技术与现有的小、中、大尺寸OLED的研发路线图并不契合，其商业化方向也尚不明朗。

促成这项技术全面开发的催化剂是对采用中国维信诺非FMM技术ViP的智能手表OLED器件的分析。尽管最初预计ViP的良率和器件特性会比现有的FMM方法显著降低，但分析结果却并非如此。

一位业内人士表示：“尽管维信诺的产品在保证良率方面仍在努力，但他们认为，作为首款产品，其设备特性已达到与FMM相似的水平，这一点意义重大。”他还补充道：“三星显示器内部对良率充满信心，认为这是他们擅长的领域，并且还有很大的提升空间。”

MPO 是一种先进的图案化技术，无需 FMM 即可制造红、绿、蓝 (RGB) OLED 像素。它不使用 FMM，而是利用精细的隔离结构和光刻技术来区分 RGB 像素。维信诺的 ViP 和 LG Display 的 FliPP 也是屏障型非 FMM 技术。

关键区别在于具体的工艺流程和最终结构。ViP 和 FliPP 工艺是将有机材料大面积沉积在基板上，然后通过光刻和蚀刻去除不需要的部分。相比之下，MPO 工艺首先构建精细的隔离结构，并利用该结构在所需区域形成有机材料。随后，不再对有机层进行进一步蚀刻。隔离结构的处理方式也不同。ViP 和 FliPP 工艺的最终产品中会保留用于分隔有机材料的隔离结构，而据报道，MPO 工艺正在开发中，旨在制造过程中利用该结构，并在制造完成后将其去除。

业内人士认为，工艺顺序和最终结构的差异将使人们能够规避 Visionox ViP、LG Display FliPP 和 Applied Materials 持有的非 FMM 专利。

该工艺经评估在实现高分辨率OLED方面具有优势。这是因为它便于设计高密度像素间距，并减轻了精细工艺的管理负担以及有机层损伤的增加（随着像素尺寸的减小，有机层损伤的风险也会增加）。此外，该工艺还能减少材料用量和工艺步骤。ViP和FliPP工艺即使在需要去除的区域也需要注入有机材料，而MPO工艺则能减少材料浪费。由于省去了蚀刻工艺，预计还能简化工艺流程并降低成本。

一位业内人士表示，“MPO技术的发展方向更适合高分辨率OLED，而不是中大型OLED”，并补充道，“一旦7英寸级的样品发布，我们将能够验证MPO的技术优势在实际产品尺寸中究竟能发挥多大作用。”