我国新一代光刻机模型亮相

第九届进博会，上海微电子新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800剖视模型正式亮相 。 透明模型直观展示整机光路、机电架构，核心零部件国产化率突破90%，核心系统实现全链条自主可控，设备已经量产落地国内芯片产线，累计流片超千万片，国产半导体装备再迈出坚实一步。