这是上海微电子自主研发的，某些网友别又把功劳张冠李戴了哈。岁月史书不容串改！上海微电子装备集团，简称SMEE，成立于2002年，是国内唯一具备前道干式光刻机稳定量产交付能力的制造商，也是我国前道光刻装备自主供给体系的核心支撑主体，业务覆盖核心光刻装备的设计研发、生产制造、市场销售与全流程技术服务。我国新一代光刻机模型亮相