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晶盛机电12英寸碳化硅衬底小批量供应,晶片定位专利获授权10月23日,晶盛机电在

晶盛机电12英寸碳化硅衬底小批量供应,晶片定位专利获授权

10月23日,晶盛机电在互动平台表示,公司12英寸碳化硅衬底已实现小批量供应,正推进国内年产90万片碳化硅衬底项目及马来西亚工厂通线投产工作。

据天眼查显示,浙江晶盛机电股份有限公司申请的“晶片位姿调节方法”发明专利于10月9日获授权,目前处于有效状态。专利说明书显示,该方法用于碳化硅晶片磨削前的定向,通过比较晶片转动前后反射信号最强时的角度,确定修正值并调整晶片姿态,以抵消晶向仪使用损耗带来的定向误差