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阿斯麦宣布与台积电、三星推进下一代高数值孔径光刻机技术的应用。台积电承诺于2030年将该技术用于先进制程量产,三星则将于2028年前将其用于DRAM量产。 ​

阿斯麦宣布与台积电、三星推进下一代高数值孔径光刻机技术的应用。台积电承诺于2030年将该技术用于先进制程量产,三星则将于2028年前将其用于DRAM量产。 ​