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CMP抛光材料的国产替代 CMP 抛光材料国产替代核心现状:‌抛光垫已实现突破

CMP抛光材料的国产替代

CMP 抛光材料国产替代核心现状:‌抛光垫已实现突破(鼎龙市占率超 70%),抛光液部分领先(安集市占率超 50%),整体国产化率不足 30%,高端制程仍依赖进口‌。‌‌

核心格局与主要标的
‌抛光垫(替代最彻底)‌:‌鼎龙股份‌为国内唯一量产 12 寸抛光垫企业,国内市占率突破‌70%‌,打破陶氏、3M 垄断,覆盖长江存储、长鑫存储等主流产线;‌无锡吉致电子‌等新兴厂商在通用型及特种垫领域加速切入 。
‌抛光液(分化明显)‌:‌安集科技‌为龙头,国内市占率超‌53%‌,主导铜互连及部分介质抛光;‌鼎龙股份‌近期在大硅片精抛、氧化铈(存储关键)、TSV 抛光液获突破并批量供货;‌博来纳润‌在碳化硅及纳米磨料制备具备特色优势 。
‌配套磨料与设备‌:磨料环节‌博来纳润‌掌握核心制备工艺;设备端‌华海清科‌为 CMP 整机龙头(国产化率约 39%),与耗材形成“设备 + 材料”协同验证优势 。‌‌
替代进度与关键数据
‌整体渗透率‌:2026 年 CMP 材料整体国产化率仍‌低于 30%‌,抛光垫最高,高端抛光液(如先进逻辑节点、特殊介质)最低 。
‌市场规模‌:2026 年中国 CMP 材料市场规模约‌80 亿元人民币‌,受 3D NAND 堆叠及 HBM 先进封装驱动,年均增速预计超 10% 。
‌技术壁垒‌:抛光垫认证周期长达‌2-3 年‌,一旦导入极难替换;抛光液需匹配特定制程颗粒分散性与去除速率,高端配方仍被卡博特、日立、富士等日美巨头把持 。‌‌百科‌
驱动因素与未来趋势
‌需求端‌:AI 算力带动 HBM 及 3D NAND 扩产,单晶圆 CMP 工序次数翻倍,耗材用量刚性增长;先进封装(TSV、混合键合)开辟新增量场景 。
‌供给端‌:大基金三期及产业资本加持(如财通资本投资博来纳润),推动原材料(磨料)全链条自主化,解决“卡脖子”隐患 。
‌趋势判断‌:未来 2-3 年是‌抛光液高端品类‌(氧化铈、大硅片精抛)替代攻坚期,具备“垫 + 液 + 清洗”一站式能力的平台型厂商(如鼎龙)将获更高溢价 。‌‌
注:CMP 材料包含抛光液(Slurry)和抛光垫(Pad)两大核心组件,前者为化学配方壁垒,后者为精密高分子工艺壁垒 。‌‌