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阿斯麦火速澄清:从没卖给中国EUV光刻机 6月19日德国之声报道,在美国方面质疑

阿斯麦火速澄清:从没卖给中国EUV光刻机
6月19日德国之声报道,在美国方面质疑阿斯麦存在EUV光刻机对华流出后,企业立刻出面澄清,宣称从未向我国出口过EUV整机以及配套零件。
阿斯麦拿出设备台账,称全球所有EUV设备去向都记录在册,国内并无相关设备。他们还打趣,这种设备上百吨重,运输、装机、后续维护都得原厂人员跟进,想私下流通基本不现实。
美方嘴上说掌握相关线索,却始终不肯拿出实质证据。其实荷兰早就受限制,根本不允许阿斯麦对华出售EUV,企业主动表态也是为了消除美方疑虑。
目前国内能够正常采购合规的DUV光刻机,两类设备所能支撑的芯片制程差距明显,先进制程发展依旧面临不小外部阻碍。