“光刻机没有一个国家可以做得到,美国都造不出,中国根本做不到!”“中国永远都造不出光刻机?”前年,中国物理学教授朱士尧在一次采访中直言:“美国都造不出,中国永远也造不出来!”甚至认为世界上没有一个国家能造出光刻机。 光刻机这东西,本质上就是全球工业分工的巅峰产物。荷兰ASML一家独大,但它自己也承认,单靠荷兰干不成。核心光源靠美国技术,反射镜德国蔡司垄断,精密零件日本材料和轴承占大头,系统整合才轮到荷兰。超过10万个零部件,5000多家供应商跨十几个国家,每一台机器组装都像拼超级复杂的乐高,哪一块缺了都不行。美国要是想自己从头搞EUV,也得跪。ASML的供应链就是铁证,美国光源牛,可少了欧洲光学和日本材料,照样出不了完整的高端机。这就是朱士尧那句“美国都造不出”的底气,不是贬低谁,是工业现实摆在那。 中国起步晚,基础积累薄,面对这种壁垒,短期内单干复制整条链确实难。专利层层卡死,技术转移谈不拢,进口受限越来越严。2023年底开始,荷兰跟着美国脚步扩大管制,高端DUV也得审批,EUV早就不卖了。中国企业囤设备、抢时间,可长远看,靠买终究不是办法。朱士尧的观点其实在提醒,别把事情想得太简单,光刻机不是靠砸钱、喊口号就能速成的,它是光学、精密机械、材料、数学多学科的满分集合体,任何一环弱都过不了关。 可话说回来,中国这些年芯片路走得有多苦,大家都看在眼里。从被卡脖子到一步步往前拱,靠的就是不服输那股劲。上海微电子扛起DUV大旗,90纳米机型早就在规模生产,28纳米浸没式光刻机2025年进入中芯国际验证,良率在爬升,国产化率提上去。宇量昇的DUV设备也开始测试,干法和浸没路线并行推进。EUV方向更难,但光源验证有进展,中科院和哈工大团队在13.5纳米等离子体上反复攻关,国家大基金三期砸钱,产业链上下游抱团补短板。 到2026年春天看,国产光刻机在成熟制程上已经站稳脚跟,28纳米节点实现批量交付,汽车电子、物联网芯片用得上国产设备。先进制程还在爬坡,但方向对,步子没乱。
