3月2日，半导体设备ETF（561980）开盘跌2.55%，报2.329元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，中微公司开盘跌1.17%，北方华创跌1.55%，寒武纪跌2.38%，中芯国际跌1.84%，海光信息跌2.31%，拓荆科技跌3.08%，长川科技跌2.70%，华海清科跌3.52%，中科飞测跌2.71%，南大光电跌2.50%。

半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为房俊一，成立（2023-08-21）以来回报为138.08%，近一个月回报为-1.91%。