3月2日，半导体设备ETF（159516）开盘跌2.62%，报1.855元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创开盘跌1.55%，中微公司跌1.17%，拓荆科技跌3.08%，长川科技跌2.70%，沪硅产业跌2.16%，华海清科跌3.52%，中科飞测跌2.71%，南大光电跌2.50%，安集科技跌2.57%，芯源微跌2.10%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为90.20%，近一个月回报为-0.14%。