2月26日，至纯科技涨2.09%，截至发稿，报29.35元/股，成交5.73亿元，换手率5.17%，总市值112.40亿元。至纯科技股价已经连续5天上涨，区间累计涨幅6.42%。

资料显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司位于上海市闵行区紫海路170号，成立日期2000年11月13日，上市日期2017年1月13日，公司主营业务涉及半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售,以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。主营业务收入构成为：系统集成72.70%，设备业务18.70%，电子材料8.29%，其他(补充)0.30%。

从至纯科技十大流通股东角度

数据显示，国泰基金旗下1只基金位居至纯科技十大流通股东。国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）三季度新进十大流通股东，持有股数281.15万股，占流通股的比例为0.73%。根据测算，今日浮盈赚取约168.69万元。连续5天上涨期间浮盈赚取497.63万元。

国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）成立日期2023年7月19日，最新规模90.11亿。今年以来收益25.11%，同类排名47/5572；近一年收益71.35%，同类排名202/4311；成立以来收益92.63%。

国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）基金经理为艾小军。

截至发稿，艾小军累计任职时间12年48天，现任基金资产总规模1889.36亿元，任职期间最佳基金回报327.02%，任职期间最差基金回报-46.54%。