2月26日，半导体设备ETF（159516）开盘跌0.47%，报1.918元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创开盘涨0.00%，中微公司跌0.43%，拓荆科技涨0.16%，长川科技跌0.10%，沪硅产业涨0.91%，华海清科涨0.52%，中科飞测跌0.01%，南大光电跌0.85%，安集科技涨0.72%，芯源微涨1.79%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为92.63%，近一个月回报为-0.70%。