2月26日，半导体设备ETF（561980）开盘涨0.04%，报2.400元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，中微公司开盘跌0.43%，北方华创涨0.00%，寒武纪涨1.15%，中芯国际涨0.00%，海光信息涨2.00%，拓荆科技涨0.16%，长川科技跌0.10%，华海清科涨0.52%，中科飞测跌0.01%，南大光电跌0.85%。

半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为房俊一，成立（2023-08-21）以来回报为139.60%，近一个月回报为-3.27%。