数据显示，2月25日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)遭净赎回1.62亿元，位居当日股票ETF净流出排名23/1129。最新规模84.88亿元，前一日规模82.44亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为1.97%。

近5日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)遭净赎回1.64亿元，位居股票ETF净流出排名第70/1129。近10日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)遭净赎回1.13亿元，位居股票ETF净流出排名第112/1129。近20日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购15.12亿元，位居股票ETF净流入排名第21/1129。

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）成立于2025年3月24日，基金全称为华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止2月25日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）最新份额为45.27亿份，最新规模为84.88亿元。回顾2025年12月31日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）份额为24.47亿份，规模为36.77亿元。即该基金今年以来份额增加85.00%，规模增加130.83%。

流动性方面，截止2月25日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）近20个交易日累计成交金额194.81亿元，日均成交金额9.74亿元；今年以来，32个交易日，累计成交金额321.71亿元，日均成交金额10.05亿元。

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）现任基金经理为杨斯琪。杨斯琪自2025年3月24日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益87.50%。

最新定期报告显示，华夏基金（588170）重仓股包括拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中微公司、中科飞测、安集科技、芯源微、天岳先进、华峰测控、盛美上海，持仓占比如下：

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688072拓荆科技10.08%112.34万3.71亿688120华海清科9.64%236.11万3.54亿688126沪硅产业9.40%1596.59万3.46亿688012中微公司8.61%116.14万3.17亿688361中科飞测8.35%200.70万3.07亿688019安集科技6.66%112.43万2.45亿688037芯源微6.22%153.90万2.29亿688234天岳先进4.95%204.78万1.82亿688200华峰测控4.68%90.45万1.72亿688082盛美上海4.39%91.61万1.61亿

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、科半导体（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

代码名称基金规模(亿元)20260225近1月日均成交额(亿元)净申购(亿元)20260225近1周净申购(亿元)近1月净申购(亿元)基金公司588170华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF84.888.91-1.62-0.772.27华夏基金588710科半导体18.222.15-0.61-0.35-1.07华泰柏瑞基金589020鹏华科创板半导体材料设备主题ETF5.820.71-0.63-0.69-0.63鹏华基金