2月25日，半导体设备ETF（159516）开盘涨0.05%，报1.844元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创开盘涨0.23%，中微公司跌0.20%，拓荆科技涨0.82%，长川科技涨2.22%，沪硅产业跌0.05%，华海清科涨0.20%，中科飞测涨0.20%，南大光电跌1.38%，安集科技跌0.17%，芯源微涨0.83%。

半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为84.34%，近一个月回报为-4.97%。