从25年11月1日起，日本将ArF、EUV纳入出口管制清单，逐案审批，审批从30变成90天，配额减10%-15%。从25年12月30日起，i线、KrF审批也延至90天，配额再减10%-15%；要求110家中国企业提交最终用途追溯报告；严禁第三方转口。2025-12中旬起，日企（信越、JSR、东京应化）停接高端新单，实质停供。 EUV光刻胶（7nm及以下） 全球仅日企供应；审批通过率≈0，实质断供。 ​ ArF光刻胶（14/28nm先进制程），纳入清单、逐案审批、配额大减；新单基本不接，老单交期拉长。 ​ KrF光刻胶（90-130nm） 审批从严、配额削减；停接新单，老单交期延至6-8个月。 ​ i线/g线（180nm+成熟制程） 审批周期延长，但仍可正常申请出口，未实质断供。 中国现在的应对是，保成熟制程：优先保障i线/KrF供应，把先进制程产能转向28nm/40nm成熟节点，满足车规、工控、IoT需求。 ​ 有限囤货，利用6个月保质期窗口期，集中采购现有库存，优先保障中芯、华虹、长江存储等核心厂。 ​ 审批突围，通过最终用途合规申报，争取少量ArF审批额度，维持先进制程小批量生产。 ​ 供应链多元化，尝试从韩国（东进世美肯）、美国（陶氏）少量进口，但价格高、量少、仍受美国管控。 中期：国产替代加速（最关键） KrF（90-130nm）：晶瑞、彤程、容大感光等已规模化量产，良率接近日企，自给率≈50%，2026年底有望70%+ ​ ArF（14/28nm）：南大光电、上海新阳等通过中芯验证，年产能50吨+，小批量稳定供货，自给率