2月5日，半导体设备ETF（561980）开盘跌1.72%，报2.225元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，中微公司开盘跌2.64%，北方华创跌1.61%，寒武纪跌1.68%，中芯国际跌1.61%，海光信息跌2.11%，拓荆科技跌3.47%，长川科技跌2.04%，华海清科跌1.71%，中科飞测跌1.86%，南大光电跌1.61%。

半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为房俊一，成立（2023-08-21）以来回报为126.70%，近一个月回报为11.44%。