2月5日，半导体设备ETF万家（159327）开盘跌1.64%，报2.105元。半导体设备ETF万家（159327）重仓股方面，北方华创开盘跌1.61%，中微公司跌2.64%，拓荆科技跌3.47%，长川科技跌2.04%，沪硅产业跌1.28%，华海清科跌1.71%，中科飞测跌1.86%，南大光电跌1.61%，安集科技跌1.70%，芯源微跌1.94%。

半导体设备ETF万家（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为万家基金管理有限公司，基金经理为吴宜蓉，成立（2024-07-24）以来回报为113.92%，近一个月回报为16.83%。