光刻机技术很难突破吗? 光刻机技术突破简直难如登天。有人说造原子弹难，在高端光刻机面前，原子弹复杂度就是“弟弟”。全球能造氢弹的有五个国家，能造EUV光刻机的公司却只有阿斯麦（ASML）一家。 一台顶尖EUV光刻重达180吨，有10万个零部件，每个都代表领域“世界第一”，阿斯麦一年最多产20台。其光源更是变态，需用20千瓦激光，每秒5万次轰击液态锡珠产生极紫外光。 光刻机有三大核心系统，国内华卓精科已在双工作台实现商业化生产，相对容易攻克。而投影物镜系统才是最难的，这也是我们突破光刻机技术的“拦路虎”。