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1976年9月由国营建光机器厂(军工代号4503厂,宝鸡81号信箱)制造的H94

1976年9月由国营建光机器厂(军工代号4503厂,宝鸡81号信箱)制造的H94-22型半自动光刻机,编号003属于该厂早期量产的机型,是中国第一代实用化的半导体光刻机