替代荷兰EUV光刻机?清华EUV光源传出后续,官方正式回应

数码解说客 2023-09-20 21:57:56

提到光刻机,很多小伙伴第一时间,都会联想到荷兰的ASML。作为全球顶尖的光刻机设备生产商,ASML当今在国际市场中的地位,主要原因,就是由于其手中掌握了EUV光刻机(极紫外光刻机)的制造能力。

而在前不久,国内清华大学却传出了一则消息,一种通过粒子加速器获取极紫外光的方案被曝光。有博主称,清华正在筹备建立一座光刻工厂,进而替代荷兰的EUV光刻机,来生产高端的新芯片产品。如今,清华EUV方案传出后续,官方正式回应,部分网友的期盼或许要落空了。

清华EUV光源传出后续

据了解,所谓清华大学的EUV光刻机替代方案,是清华大学在多年前的一项光源技术研究这项研究报告,是对一种新型的粒子加速器光源“稳态微聚束”的原理验证。在验证的过程中发现,稳态微聚束(SSMB)理论上可以产生芯片制造过程所需的极紫外光。

不过,正如国内专家项立刚所说的,不相信什么大学的方案,大学做产业一般都不行,科研和生产是两个思路,要把一项科研成果,变成一个生产能力,路是非常远的,而且这个不能由大学和教授们来完成,他们并不具有这个能力。

清华大学稳态微聚束(SSMB)方案,只是一个理论上可行的方案。建设成本不说,就是在建成投产之后,量产出来的光不能用于芯片的光刻加工也还不好说。可网上对这件事情却是越传越邪乎,什么雄安新区将新建一座光刻机工厂都来了。

官方正式回应

加上网传圆形的粒子加速器配图,好像国内已经开始要将该方案用于芯片制造了一样。于是乎,官方便在9月18日进行了正式回应,明确表示这不是光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源(HEPS)。

那么,北京高能同步辐射光源(HEPS)究竟是什么?清华大学的方案,又能否替代EUV光刻机来生产芯片,下面我们简单地聊一聊。

根据官方的介绍可知,同步辐射光源是指产生同步辐射的物理装置,它是一种利用相对论性电子(或正电子)在磁场中偏转时产生同步辐射的高性能新型强光源。主要作用是满足中国重大的战略需求,并对众多的基础科学研究提供关键的支撑作用。

说白了,北京高能同步辐射光源(HEPS),就是为了满足国内基础科学研究所设计的装置,不具备光刻机的特性,也无法直接适用于芯片的制造。

之所以这件事被传出来,是因为清华大学提出的稳态微聚束(SSMB)装置,在理论上可以产生出芯片制造国产中所需的极紫外光。不过,想要近准的制造符合芯片加工时所需的即紫外光,对于设备的各种变量控制也要十分的精准。

以现阶段可行的替代方案来讲,筹建光刻工厂进行各种测试,然后再用于芯片的制造,其成本注定要远高于去开发纳米压印、多重曝光等替代技术。

除去时间成本和投入成本过高,实际效果远不如去复刻一台EUV光刻机来的划算。毕竟,在光源的问题解决了之后,还要解决物镜、工作台、激光量测等装置,把这些全部集成在一起,才能完成高端芯片的批量生产。

更何况,新建光刻工厂这种方案,肯定也无法大规模的投入商用。不仅占地面积大,设备光是运输成本,也要比荷兰ASML的EUV光刻机高很多。

科研需要稳扎稳打、厚积薄发

直到今天,国内半导体领域的重大突破,哪一个不是稳扎稳打做出来的结果?清华一篇论文,还没有谈到落地和商用,在未来客户、投资什么都看不到的情况下,盲目的吹捧只能够适得其反。目前,不需要盲目的去追赶西方的所谓先进工艺,能够把28纳米及以上的成熟制程芯片做到全流程的国产化,其实,就已经能解决很多问题了。

正如我国倪光南院士所说的,“除智能手机、电脑之外的大多数科技产品,采用28nm/14nm的芯片制程,就已经能够基本满足实际的使用需求了。”国内在先进芯片领域的技术突破需要时间,当下更则应该注重成熟制程芯片产品的自主可控。

这部分产品是应用最广,也是最能够对美方芯片出口造成影响的产品。只要有国产芯片可以进行替代,老美的芯片出口额还得继续下滑。在美国企业扛不住营收的大幅度下滑之后,高端芯片产品的供应也就顺理成章地恢复了。

综上所述,这次官方对清华稳态微聚束(SSMB)方案的回应,应该是比较权威的一则报道了。对于国内的芯片产业链而言,什么都需要一步步的来,不可能一口就吃成个胖子。

ASML在研发EUV光刻机时,前后也经历过多次的失败,甚至险些放弃。国内想要解决EUV光刻机的问题,不遭遇类似的情况是不太可能的。所以,给予国产芯片技术更多关注和支持,才是我们当下最需要去做的。对此,你又是怎么看的呢?欢迎大家留言、讨论!

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