直拉法是在半导体领域中应用最广,产量最大的单晶制备方法。
根据直拉法,从熔化的源材料中提拉单晶硅锭。
太阳电池用掺氮直拉单晶硅中氧沉淀行为的研究
紊流模型模拟分析旋转对提拉大直径单晶硅的影响
微氮直拉硅单晶中氧化诱生层错透射电镜研究
快速热处理工艺下直拉单晶硅中铜、镍对氧沉淀的影响
快速热处理对直拉硅单晶在模拟CMOS热处理工艺时氧沉淀的影响
快中子辐照直拉硅中受主和施主的研究
基于数学建模要求下先进的提拉法控制系统研制
采用延时修正法实施QUICK格式模拟提拉单晶体的生长
表面张力温度系数对硅单晶生长的影响
直拉单晶硅中氧沉淀的高温消融和再生长
锗对重掺硼直拉硅中氧沉淀的影响
大直径直拉硅中氮对原生氧沉淀的影响
单晶硅中过渡族金属镍对洁净区形成的影响
液封直拉法砷化镓单晶及切割片