为获得用于表面应力测量的压阻悬臂梁传感器的参数的优化方法,建立了有限元分析模型。
分析时,微悬臂梁与电极之接触是采用接触元素来模拟。
结果表明,利用微悬臂梁传感技术对中药成分的检测是可行的。
研究为基于光致应变效应的硅悬臂梁传感器打下了理论基础。
纳米硬度计研究多晶硅微悬臂梁力学特性
双金属微悬臂梁的选材及热机械性能分析
表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化
微构件弹性模量悬臂梁法测量的模糊建模及分析
纳米硬度计研究多晶硅微悬臂梁的弹性模量
原子力显微镜微悬臂变形位移的理论计算
微悬臂梁的热机械性能分析及选材
硅微机械悬臂梁谐振器的电热激励及光纤拾振技术的研究