讨论了上述金属硅化物的性能评价与缺陷，热稳定性的检测方法。
在栅极、源极和漏极表面形成自对准金属硅化物。
阐述了稀土金属硅化物的生长工艺和与硅衬底间势垒及界面特性。
稀土金属原子可与Si原子发生化学反应生成硅化物，这个反应甚至在室温下就可以进行，但比较缓慢。
研究其高温形变特征和氧化膜形成规律；
硅基底上外延生长过渡金属硅化物薄膜的研究
钼离子注入硅薄层硅化钼的合成
离子束合成钇硅化物的结构及红外谱特征
机械合金化：热处理法制备钼硅化合物
钴硅化合物的理论电子能量损失谱