一种抛光垫,包括在抛光垫表面上方彼此交叉的抛光单元。
传感器结构由两对交叉的梳状铝电极,每个为21根铝条,以及60根多晶硅加热条组成。
还公开了一种制造交叉指型微电极(2)的方法。
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