并且，自动椭偏仪在其他领域的测量应用前景也很好。
利用调制式的椭偏仪测量了掺镧锆钛酸铅PLZT薄膜的电光系数。
数据处理一直是椭偏测量术获取高精度薄膜结构参数的一个难点。
在薄膜缺陷检测领域，成像技术，干涉测量，椭偏测量等一系列测量手段都得到了应用。
为薄膜设计，材料分析，椭圆偏光法，分光光度测定法提供不同的工具。最近的光学薄膜软件包括：一。
提出一种对固相基底上纳米薄膜图案进行表征的光谱椭偏成像系统。
金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱研究
油漆质量，塑料，聚合物，荧光增白剂和磷涂层（椭圆偏振仪）
动态椭偏光谱技术及其在薄膜测量中应用的研究
电位扫描椭圆法对苯胺电聚合的研究
过滤电弧沉积非晶金刚石薄膜的光谱椭偏研究
直接计算法计算粗糙面薄膜的折射率和厚度
包装：食物包装用塑料膜、瓶子的保护涂层（椭圆偏振仪）
沉积工艺条件对金刚石薄膜红外椭偏光学性质的影响
用在线椭偏仪研究非晶碳氢膜沉积和刻蚀过程
A蛋白定向固定抗体用于椭偏光学生物传感器免疫检测
椭偏法细丝在线监测系统设计及数据分析
使用修正的模拟退火数据处理以提高椭偏测量中薄膜参数的精度