本发明是三氯氢硅差压耦合精馏系统及操作方法。
本发明涉及一种由四氯化硅制取三氯氢硅的方法,属于多晶硅生产领域。
采用双溶剂法,以三氯氢硅和甲醇为原料合成三甲氧基硅烷。
所述的配位试剂与苯基三氯硅烷的当量比为100~300%。
甲基三氯硅烷的综合利用
氯化氢含水对生产三氯氢硅的影响
三氯氢硅工艺概况及发展趋势
三氯硅烷的制备及精制工艺进展
乙炔和三氯硅烷的加成反应探讨
三氯氢硅装置主要设备布置及吊装方案