氧沉淀(可用作吸杂)会使屈服强度(临界剪应力)降低为五分之一。
多晶硅能促进硅片内的氧沉淀成核和生长,起内吸杂作用。
生产中除了避免金属污染源接触外,还采用吸杂工艺来降低金属杂质。
污点类型:发霉,泥浆解决方案:干燥,用刷子去,然后喷嘴吸尘器吸除。
至黑143手时,白龙逼黑龙收气的劫争也失去,刘星已经输定。
可任选地使用吸气材料。
铸造多晶硅硅片的磷吸杂研究
非蒸散型吸气材料及制品吸气性能测试方法
中子辐照直拉硅中的本征吸除效应
测量分子流动区域内不挥发吸收剂的吸收速率、吸收能量及气体含量