DLP的心脏是一个多达200万个安装在铰链上的微型铝镜(称作数字微镜装置,即DMD)阵列。
数字化掩模制作系统的核心控制部件是数字微镜。
在这里,镜子是被称做数字微镜器件(DMD)的光半导体的一部分。
设计并研究了一种硅基PZT压电悬臂梁驱动扫描微镜器件。
文章详细介绍了数字微镜系统总体设计,并进行了实验验证。
一种高制动效率大角度硅扭转微镜MEMS光开关的设计
复合静电驱动结构致动的内旋转微镜
基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征
光滑曲面的硅微透镜列阵形成机理研究
微机电系统扭转微镜面驱动器的研制
基于数字微镜的高质量精缩投影光刻系统的研制
低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作