提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。
它按照最大光圈来计算焦深公差,而不是实际光圈。
拍完一个沙井盖之后在旁边看到了这个钩,景深小一点总会带来不一样的效果。
扩大焦深的虹膜采集方法及实现技术研究
大焦深成像系统仿真实验研究
基于波前编码的光数混合景深延拓技术的研究
焦深与最佳聚焦的测量规范
焦点的宽度和深度