在另一个实施方式中,衬托器截面是多边形,且多个衬底安装在衬托器的面上。
挠性衬底安装在圆柱形衬托器上。
1·Using finite analytic solution we gave the numerical computation of the flow field in CVD reactor with tilted susceptor.
本文用有限分析方法,对带有倾斜基座的CVD反应器内流场进行了数值计算。