本文简要介绍了利用光热膨胀工作的微型驱动器的原理。
双稳态电磁型微驱动器的研制
多层弯曲磁微执行器的有限元分析
压电薄膜微致动器的制作和有限元分析
基于内窥镜驱动用微型驱动器试验研究
微扑翼飞行器静电驱动机构的机电耦合特性研究
基于石蜡热膨胀的无缆双向微驱动器研制
形状记忆合金薄膜微驱动器过程准可控研究
MEMS微电磁驱动器磨损对光开关性能的影响分析
MEMS多层悬梁微执行器的电-热分析模型研究