该微加速度计以金属为核心部件材料,并采用UV-LIGA微工艺进行加工。
证明了加速度传感器、虚拟仪器平台落锤实验机的性能符合相关技术要求。
电容式微加速度计的闭环检测技术研究
叉指微加速度计的设计与闭环检测研究
微加速度传感器的研究现状及发展趋势
PWM数字微小型加速度计脉宽突变研究
叉指式微结构加速度传感器刚度的力法求解
基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究