硅微振动陀螺仪驱动模态的稳定性对其性能及可靠性有着重要作用。
基于硅加工的高灵敏微型隧道传感器在过去15年里得到了充分的发展。
通常，显微机械加工的部件和电子电路是分开制造的，然后在同一封装块内用线将它们连在一起。
第二章详细论述了一种新型的微梁直拉直压硅微机械压阻式加速度传感器的工作原理。
这个二次操作使如此制造的微机械加工的传声器增加了复杂性和成本。
因此，这是一种先进的压阻式硅微机械加速度传感器设计和制造方法。
其次，分析了硅微陀螺仪的主要误差源。
论文首先研究了微机械陀螺仪的动力学方程。
在此基础上，分析了振动环形微机械陀螺仪的误差源和误差机理。
目前，国内对硅微陀螺仪的研究主要集中在提高精度和稳定性。